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DSN系列气体质量流量计使用shi注意shixiang
- 2019-12-09-

注意shixiang

1. 仪表he内部电器yuan件在出厂qian均yi调整hao,用hu不得随意zi行调整。 

2 .使用气体必xujing化,切忌粉chen、液体和油wu。必要shi,xu在气路中jia装过滤器等。

如果流量kong制器出口接有液体源瓶,应在流量kong制器出口an装单xiang阀,fang止液体

回流sun坏流量kong制器。 

3. 使用腐蚀性气体和有机溶ji气体问题 

kong制器tong道cai用的cailiaowei:SUS316L 不锈钢, jusi氟乙烯,氟橡胶等耐蚀cailiao。

在用hu系统无shui汽、低泄漏、qin清洗、使用得当的条件下,可yi用于kong制一般

的腐蚀性气体。使觤en扛葱云搴陀谢躩i气体shi,应在定huoshi声明。使用

te殊腐蚀性气体,所有密封cailiaodu要作相应改bian。 

4 .an装wei置问题 

本kong制器an装shi最hao保持an装面shui平,但对wei置并不tebie敏gan,可yi任意wei置

an装,非shui平weian装shi若发xian零点偏移,可调整零点后再gong作。如果用hu订huo

shi注明an装wei置,我厂也可根ju用hu的an装wei置进行标定后出厂。 

5 .注意gong作压cha 

要tebie注意gong作介质的气压,应注意使kong制器进出气口liang端的gong作压cha保持在

指标范wei之内。gong作压cha不在规定的范wei内,流量将无法关闭或调小。在使用

大流量的质量流量kong制器shi,要注意适当jiacu管道和减小气源内阻,若gong作压

cha小于要qiuzhi,有可能流量达不到man量程zhi。 

kong制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用,一般情况下用hu应在kong制器进

气口qianan装电磁(手dong)截止阀。(有必要shi在kong制器qian后du应jia装) 

6. 阀kong操作注意: 

在阀kong操作wei“清洗”后不能直接转wei“阀kong”状态,应先切换至“关闭”状

态。 

 

7 .标定和不同气体的换算 

① 本kong制器出厂用dan气(N2)标定

质量流量的单wei规定 

SCCM (标准毫升/分);SLM

(标准升/分) 

CCM(毫升/分); LM

(升/分) 

标定状态规定 

温du 273.15K0℃;气压

101325Pa(760mmHg) 

温du 25℃;      气压

101325pa 

F.S(Full Scale) man量程zhi 

 ② 用hu使用其它气体shi,可yitong过气体质量流量转换系数进行换算,将质量kong制

器xian示出的流量du数,与mou使用气体的转换系数相乘,即得gaibei测气体在标譲ia刺咙/p>

的质量流量。如果用hu使用混合气体,可yitong过fu录介绍的方法,计算出混合气体的

转换系数。 

③ 气体转换,tong常气体的切换不需要利用气体转换系数,只需要在设定画面,如

下图: 

 利用 将光标移至,,选择当qian介质后。(装置已内置

60 种常用气体)将光标移至, 确定退出即可。 

此shi,装置将zidong完成。xian示的瞬shi流量wei当qian选择的气体介质的实际流量。不需要

人gong利用气体转换系数转换。 

8 .出厂初shi的模式wei:一般gong作模式 ,里面的分段参数里没有修改和查看的权限!

只有在软件端把 MFC 或 DSN2000B 设wei分段模式,那么在键盘上cai能设定和查

看分段参数。 

9. shi间的累积jingdu到分zhong [shi] [分],如果要jing确到 miao (S) 上的shi间累积功能,

请运用分段里的多段组合功能,分段中的每段最高wei 99 分zhong 59S,可yi组合几

段,设定分zhong和miao,设定同样流量,后选择分段关闭实xian。 

10. 流量的累积小数解jue  

方法一: 

比如:量程wei 5.000SCCM,需要累积 3.230SCCM 流量zhi 

可yi使用小数功能:输入 3.230SCCM 的zhi 

方法二:相对处理 

因wei累积zhi响应整数相对小数jiaowei准确,把累积流量zhi化wei整数 323,把量程

也fang大 100 bei,相应调节wei 500.0 就可yi实xian,但是这个比例处理是相对的,

但ni如果在 DSN2000B 介面du取每分zhong的流量zhi还要/100 lai还原真实的流量zhi,

在流量设定zhi上,也要考虑相对的fang大zhilai设定。 

11. 复wei 

此功能请参照“6.11 shi间组态界面”(P20) 

是用“shi间组态界面”进行复wei。复wei后,组态zidong恢复到原蔶ia刺?蚳u需

要重xin进入组态,照实际进行重xin设置。 

 


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