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气体质量流量控制器的工作原理
- 2019-11-23-

           气体质量流量控制器由质量流量传感器,分流器通道,流量控制调jiefa和放大控制电路等bu件zu成。

           本质流量控制器利用流动体传dire量改变ce量毛细guan壁温du分布的re传导分布效应而制成。

           采用毛细guan传re温cha量re法原理ce量气体的质量流量,可以bu受温du压力的影响。将传感器ce得的流量信号进xing放大,然后与设定的电压进xing比jiao,用所得的cha值信号去驱动控制调jiefa门,闭环控制流过通道的量使之与设定的流量xiang等。

           分流器zai主通道和毛细guanjian产生层流。

           控制器shu出的流量以电压huo电流形式shu出,满量程为 5V huo 20mA

           显示方式用户可以xuan为实际流量显示。

           MFC 数讂hong椭柿苛髁考?控制器通过 RS232/RS485 直接与计算机连接。

           控制操作襤ua銁ai流量显示面板上进xing。设zhi有三位fa门控制开关,当zhi“关闭”位时,fa门关闭。当zhi“清洗”位时,fa门开dao最大,以bian气路清洗。当zhiyu“fa控”时,ze按设定电压的数值自动控制气体流量; 当用户设定为满量程时,作为流量计使用。

           控制器shu出的流量检ce电压与流过通道的质量流量成zheng比, 满量程(F.S) 流量检 ceshu出电压为+5.00V。质量流量控制器的流量控制范围是(1~100)%F.S (量程比为 100:1), 流量分辨率是 0.1%F.S 。

           注意:

           当质量流量控制器的“fa控”线zhiyu“清洗”位时,襜u梢缘敝柿苛髁考剖褂谩ai做流量计使用时,流量检ce电压的shu出值最大可neng达+10V 以上,bu过要注意,当流量超过满量程值(+5.00V)后,流量检ce电压与通过的实际流量bu成线xing对应关xi。清洗时,流量显示bu准确,还可neng出xian流量增大显示反而jian小的异常xianxiang,但并bu会对流量计本身zao成损伤。

           zai气路zhong气源未开qi的qing况下,禁止长时jian使用清洗功neng。用yu“清洗”状态的时jianbu宜过长,否ze将对流量控制器的xingneng产生影响。


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